微納器件OLED導電玻璃PLASMA等離子清洗機親水性處理

  • 產品編號:TS-APR
  • 產品規格: 東信高科
  • 產品用途:

    微納器件、導電玻璃

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產品介紹

基片的清洗和預處理

OLED對ITO的要求

表面潔凈;表面平整;功函數較高。

有機層與ITO之間界面對發光性能的影響至關重要,ITO玻璃在使用前必須仔細清洗,目的是除去表面上物理

附著的污物和化學附著的有機物等。

 

 

 

 

ITO表面處理工藝

ITO的不均勻性將導致有機層不均勻,從而易形成局部強電場引起OLED中黑斑的產生。平整的ITO表面場強均勻,

減小短路的危險,提高OLED的穩定性。

在沉積有機層之前,ITO表面必須進行仔細的清洗,否則不能得到穩定的OLED器件。

 

ITO 基片處理 ITO For OLED

ITO膜表面形態對OLED器件的性能

粗糙的ITO膜表面將使光線產生漫反射,減小出射光效率,降低OLED的外量子效率。

OLED加電壓時,粗糙表面會影響OLED的內電場分布。ITO表面的尖峰將導致局部高電場,高電場將使激子解離成為正負載流子,

致使發光強度降低;而且高電場將加速有機材料的惡化,以至降低OLED的穩定性。

ITO膜是有機物膜進行淀積的基底, ITO膜的表面形態將影響有機膜的成膜的吸附性、內應力和結晶度。由于粗糙的表面將不利于有機分子之間內聚形成晶體,

因而粗糙的表面易于形成不定形結構的有機物薄膜。對于不定形結構的有機物來說,結晶有機物的出現將增加電子與晶格碰撞的可能性,這將降低OLED器件的發光效率和能量效率。

等離子體處理

等離子體的作用通常是改變表面粗糙度和提高功函數。研究發現,等離子作用對表面粗糙度的影響不大,只能使ITO的均方根粗糙度從1.8nm降到1.6nm,但對功函數的影響卻較大。

用等離子體處理提高功函數的方法也不盡相同。

氧等離子處理是通過補充ITO表面的氧空位來提高表面氧含量的。

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