等離子體清洗設備

工業型等離子清洗機

  • 產品編號:TS-PL系列
  • 產品規格: 工業型等離子清洗機
  • 產品用途:

    等離子表面清洗、活化、改性

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產品介紹

型號 ?工業型等離子清洗機
容量 60L、110L、150L、180L、200L可選
電源頻率 40KHz、13.56MHz可選
真空泵 (油泵/干泵+羅茨組合)
真空度 5-100Pa可調
控制方式 PLC+觸摸屏
腔體材質 316不銹鋼/鋁合金可選

工業型等離子清洗機產品特點:

高穩定性能,可用于大規模連續生產;

獨特的電極結構,確保等離子體的均勻性;

適合各種形狀的產品,通用性高;

自主研發集成控制系統軟件,操作便捷;

可按照客戶要求定制腔體尺寸和層數,滿足客戶的使用要求;

等離子體是由Sir William Crookes在1879年發現的。而等離子體清洗機應用于工業, 源于20世紀初。并且隨著等離子體物理研究的深入, 其應用越來越廣, 目前已在眾多高科技領域中, 居于關鍵技術的地位。等離子清洗技術對產業經濟和人類文明影響最大的, 首推電子資訊工業, 尤其是半導體業與光電工業。

等離子體清洗采用氣體作為清洗介質, 不存在使用液體清洗介質對被清洗物帶來的二次污染。等離子體清洗機工作時真空清洗腔中的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面, 短時間的清洗就可以使污染物被徹底地清洗掉, 同時污染物被真空泵抽走, 其清洗程度可達到分子級。?

目前已廣泛應用的物理化學清洗方法, 大致可分為兩類:濕法清洗和干法清洗。干法清洗中發展較快、優勢明顯的是等離子體清洗, 等離子體清洗已逐步在半導體制造、微電子封裝、精密機械等行業開始普遍應用。濕法清洗要大量使用酸堿等化學物質, 而且清洗后產生大量的廢氣、廢液。當然濕法清洗目前在清洗工藝中還占據主導地位。但是從對環境的影響、原材料的消耗來看, 干法清洗要明顯優于濕法清洗, 更應是未來清洗方法的發展方向。

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