小型等離子表面處理機

(氬氣/氧氣)等離子清洗機

  • 產品編號:TS-PL10
  • 產品規格: (氬氣/氧氣)等離子清洗機
  • 產品用途:

    活化表面,增加表面附著力

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產品介紹

型號 (氧氣/氬氣)等離子清洗機
外形尺寸 660Wx 700Dx 560H(mm)
腔體尺寸 200*200*270
腔體材質 進口316不銹鋼
真空泵 干泵/油泵可選
氣路 ?兩路工作氣體(氧氣、氬氣、氮氣、四氟化碳等)
等離子發生器 40Khz
控制方式 PLC+觸摸屏
功率 0-600W可調
陶瓷封裝 進口高頻陶瓷

等離子清洗機使用氣體,工藝參考配方:常用氧氣+氬氣,根據清洗材質的不同,可分別使用氧氣、氬氣、氫氣、氮氣、四氟化碳等氣體,不同類型的氣體在清洗過程中的反應機理是不同的,活潑氣體的等離子體具有更強的化學反應活性,不同氣體的等離子體具有不同的化學性能,如氧氣的等離子體具有很高的氧化性,能氧化光刻膠反應生成氣體,從而達到清洗的效果;腐蝕性氣體的等離子體具有很好的各向異性,這樣就能滿足刻蝕的需要。

氧氣(Oxygen,O2):清洗方式:物理+化學

氮氣(Nitrogen,N2):清洗方式:物理+化學

二氧化碳(Carbon,CO2):清洗方式:物理+化學

氬氣(Argon,Ar):清洗方式:物理

壓縮空氣(Compressed Air,CDA):清洗方式:物理+化學

(氬氣/氧氣)等離子清洗機產品特點:

使用等離子清洗,可以使得清洗效率獲得極大的提高。整個清洗工藝流程幾分鐘內即可完成,因此具有產率高的特點;

容易采用數控技術,自動化程度高;具有高精度的控制裝置,時間控制的精度很高;

正確的等離子體清洗不會在表面產生損傷層,表面質量得到保證;由于是在真空中進行,不污染環境,保證清洗表面不被二次污染。

等離子處理過程為一種干制程,相對于濕制程來說,其具有諸多的優勢,這是等離子體本身特征所決定了。由高壓電離出的總體顯電中性的等離子體具有很高的活性,能夠與材料表面原子進行不斷的反應, 使表面物質不斷激發成氣態物質揮發出去,達到清洗的目的。其在材料表面處理過程中具有很好的實用性,是一種干凈、環保、高效的清洗方法。

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