大型等離子清洗機
- 產品編號：TS-PL700MA
- 產品規格： 大型等離子清洗機
- 產品用途：
大規模連續生產
- 在線銷售：
產品介紹
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名稱 |
大型等離子清洗機 |
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型號 |
TS-PL700MA |
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外形尺寸（W×D×H） |
1400×650×800mm |
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反應腔尺寸（W×H×D） |
2300×1250×1850mm |
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真空腔體材料 |
進口316L不銹鋼 |
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真空泵 |
進口品牌、二級泵 （干泵+羅茨組合） （油泵+羅茨組合） |
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角閥 |
Youch 超高真空60KF |
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流量控制儀及顯示儀 |
Sevenstar 0-800ml/min |
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真空顯示規管及讀取器 |
Pirani |
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射頻電源 |
美國進口品牌40KHZ ?13.56MHZ? |
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PLC系統 |
三菱（包括PLC，A/D模組兩組，D/A模組兩組，溫度模塊） |
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電器系統 |
施耐德 |
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變頻器 |
西門子2KW |
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觸摸屏 |
臺灣威綸真彩10.7寸 |
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陶瓷封裝 |
進口高頻陶瓷 |
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處理氣體 |
O2、Ar2、N2，H2、CF4 |
