晶圓刻蝕機

  • 產品編號:TS-PL15MA
  • 產品規格: 東信高科
  • 產品用途:

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產品介紹

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TS-PL15MA/P 晶圓刻蝕機高配版

1.真空腔規格: 材質316不銹鋼 L270mm*W280mm*H200mm
2.電極:平板氣浴電極,材質6061-T6鋁合金
功率電極:1
接地電極:1
3. 電極尺寸:230mm *230mm(最大可處理產品尺寸,可處理8寸晶圓)
4. 頻率:13.56MHz
5. 功率:0-300W連續可調,可在設備運行中隨時調整參數。
6. 氣體控制:MFC質量流量計, 0-500ml 2路氣體
7. 真空度測量儀器: 2色顯示式高精度數字式壓力開關(SMC)
8. 控制方式:7寸工業控制觸摸屏,全手動控制和全自動控制兩種控制方式
9. 控制軟件功能:界面顯示實時工作狀態
10.設備規格尺寸:長600mm 寬600mm 高700mm
11.電極板配置:配備3個卡槽位(接地電極),極板間距離可調整,可按需求調整極板位置

TS-PL15MA 晶圓刻蝕機標準版
1.真空腔規格: 材質316不銹鋼 L270mm*W280mm*H200mm
2.電極:平板氣浴電極,材質6061-T6鋁合金
功率電極:1
接地電極:1
3. 電極尺寸:230mm *230mm(最大可處理產品尺寸,可處理8寸晶圓)
4. 頻率:13.56MHz
5. 功率:0-300W連續可調,可在設備運行中隨時調整參數。
6. 氣體控制:精密針閥式浮子流量計, 0-1000ml 2路氣體
7. 真空度測量儀器: 2色顯示式高精度數字式壓力開關(SMC)
8. 控制方式:4.3寸工業控制觸摸屏,全手動控制和全自動控制兩種控制方式
9. 控制軟件功能:界面顯示實時工作狀態
10.設備規格尺寸:長600mm 寬600mm 高700mm
11.電極板配置:配備3個卡槽位(接地電極),極板間距離可調整,可按需求調整極板位置

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