在等離子清洗機中，不同氣體產生的等離子顏色是不一樣的，從物理學上面來說，這是因為不同的光波動的頻率不一樣的緣故，人的眼睛對于不同的頻率會有不同的感覺，所以看起來不同的光顏色都不相同。

如果等離子出了問題，有經驗的師傅，只需要看一下等離子發的光就知道是怎么回事。

等離子清洗機為什么會發光呢？原因就在于等離子清洗機在使用過程中，會使用不同的氣體進行工藝處理。不同氣體中的能級均具有不同的能量轉換，不同工藝氣體顯示了不同特點的發光，并因此產生不同特征的顏色。每種氣體電子躍遷時發出的光波長都不一樣，所以也就能夠看到不同顏色的輝光了。當然你加大功率到一定程度看起來都是白光，因為光子太多了。

經常在等離子清洗工藝流程中使用的氣體的典型顏色如下所述：

　　CF4：藍色

　　SF6：淡藍色

　　SiF4：淺藍色

　　SiCl4：淺藍色

　　Cl2：淺綠色

　　CCl4：淺綠色

　　H2：粉紅色

　　O2：淡黃色

　　N2：紅色至黃色

　　Br2：紅色

　　He：紅色至紫色

　　Ne：磚紅色

　　Ar：暗紅色

真空（低壓）等離子清洗機產生等離子體的能量，除了與氣體本身的特性有關，與等離子體產生的條件或者說環境有關系，包括維持的真空度、施加功率、激發頻率、電極結構、氣體種類等。